鎢燈絲掃描電鏡

性?xún)r(jià)比高、易于維護、操作相對簡(jiǎn)單、對場(chǎng)地要求較小

便于大眾使用

但長(cháng)期以來(lái)

鎢燈絲掃描電鏡的分辨率都停滯不前

難以實(shí)現用戶(hù)對更高分辨率的追求

國儀量子于近日推出的鎢燈絲掃描電鏡SEM3300

下面三張圖是不同電壓下標準金顆粒的實(shí)拍圖，每個(gè)顆粒大小在300 nm左右，邊緣銳利、細節豐富、高低分明。

使用SEM3300拍攝的不同電壓下標準金顆粒的圖像

眾所周知，鋰電池中的隔膜材料導電性差、孔隙微小，必須用低電壓高分辨的場(chǎng)發(fā)射電鏡才能拍到較好的圖像。

圖a是常規鎢燈絲電鏡的拍攝效果,細節模糊不清晰。SEM3300在這一難題面前，毫不費力地完成任務(wù)，1 kV下隔膜孔隙清晰可見(jiàn)，孔洞邊緣銳利，足以勝任隔膜檢測（圖b）。

圖a：常規鎢燈絲電鏡拍攝的鋰電池隔膜，細節模糊不清晰

圖b：SEM3300拍攝的鋰電池隔膜，隔膜孔隙清晰可見(jiàn)，孔洞邊緣銳利

國儀量子電鏡研發(fā)團隊分析了限制鎢燈絲電鏡分辨率的主要因素：

針對以上問(wèn)題，國儀量子在鏡筒內增加了一根從陽(yáng)極直達物鏡極靴的10 kV高壓管，我們形象地稱(chēng)之為高壓隧道。

這里以1 kV著(zhù)陸能量為例進(jìn)行分析：

在高壓隧道的上端：陰極與陽(yáng)極之間形成11 kV的強電場(chǎng)，燈絲表面場(chǎng)強極高，大量熱電子克服空間電荷效應對束流亮度的限制，顯著(zhù)地提高了束流亮度。

在高壓隧道的另一端：管口與物鏡下極靴形成一個(gè)10 kV的減速場(chǎng)電透鏡，該電透鏡與磁透鏡形成復合物鏡，從而有效降低該復合物鏡球差系數和色差系數。

此外，鏡筒內的電子探測器可以在極短的工作距離下，收集大部分被加速的二次電子，具有高達90%的收集效率，相比傳統鎢燈絲的旁側ET探測器信號強度高出數倍。

綜合以上所有創(chuàng )新舉措，SEM3300最終在全電壓范圍內打破了數十年來(lái)鎢燈絲極限分辨率的天花板，重新定義鎢燈絲掃描電鏡。