掃描電鏡的分辨率受哪些因素影響

　　1.傾斜角效影響圖像因素

　　由于二次電子的發(fā)射是入射電子碰撞樣品的海外電子，使原子外層受激發(fā)而電離出來(lái)的電子，

　　且電子在逸出樣品表面之前又和樣品進(jìn)行多次散射，所以只要在樣品淺層幾納米到幾十納米組偶偶深度區域產(chǎn)生的二次電子才能逸出表面，被探測器收集到。因此電子束的入射角將影響二次電子圖像的反差。

　　2.邊緣效應

　　在樣品邊緣和較短部位攝入一次電子時(shí)。由于尖端和邊緣的二次電子容易脫離樣品，所以產(chǎn)生二次電子數量多，圖像異常明亮，稱(chēng)為邊緣效應。邊緣效應造成反差不自然，降低圖像質(zhì)量。若降低加速電壓，減少二次電子的發(fā)生量，或減少對比度。就可以使邊緣效應相對減輕。

　　3.原子序數效應

　　原子序數高的元素被激發(fā)的二次電子多，原子敘述地的元素則少。因此，在同等條件下，前者圖像明亮，這種現象成為原子序數效應。原子序數效應與被散射電子在樣品中的激發(fā)作用有關(guān)。在觀(guān)察生物樣品時(shí)，在樣品表面均勻噴鍍一層原子敘述高的金屬膜，可提高圖像質(zhì)量。

　　4.充放電效應

　　生物樣品大多數是高絕緣性的，入射電子不能在樣品中構成回路倒入大地，堆積在樣品上的入射電子形成負電荷區，產(chǎn)生放電現象或排斥后續入射電子，使其被檢測器吸收或者轟擊樣品室其他部件，嚴重應先二次電子圖像質(zhì)量，如采用鍍膜，導電膠黏貼樣品等導電處理，可減少充放電效應的影響。

　　5.焦點(diǎn)深度

　　所謂的焦深是指對高低不平試樣各部分聚焦的最大限度的能力。它是掃描電鏡中一個(gè)重要的和可控的性能指標，是影響整幅圖像各部位清晰度的一個(gè)重要因素。隨著(zhù)圖像的放大倍數增加，其焦深受束斑尺寸的影響越來(lái)越顯著(zhù)。在高倍放大時(shí)，要得到較大的焦深，就要選擇大孔頸的物鏡光闌，或者縮小工作距離進(jìn)行觀(guān)察。