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國產(chǎn)掃描電鏡的成像中襯度是什么?

更新時(shí)間:2022-03-08      點(diǎn)擊次數:2997
  國產(chǎn)掃描電鏡的成像中襯度是什么?
  今天小編和大家分享的是國產(chǎn)掃描電鏡的成像中襯度是什么,具體內容如下:
  首先要知道形成掃描透射像的原理:電子束與薄樣品在國產(chǎn)掃描電鏡中相互作用時(shí),會(huì )有部分電子透過(guò)樣品,這部分透射電子也可用來(lái)成像,其形成的像就是STEM像即掃描透射像。
  與透射電鏡相似的是,國產(chǎn)掃描電鏡的STEM圖像也被分為明場(chǎng)像和暗場(chǎng)像兩種。明場(chǎng)像的探測器安裝在國產(chǎn)掃描電鏡樣品的正下方,當入射電子束穿過(guò)樣品后,散射角度較小的電子經(jīng)過(guò)光闌孔選擇后進(jìn)入明場(chǎng)探測器形成透射明場(chǎng)像,散射角比較大的電子經(jīng)DF-STEM電極板反射,由二次電子探頭接受形成暗場(chǎng)像。和明場(chǎng)像相比,國產(chǎn)掃描電鏡中的暗場(chǎng)像的信號相對較弱,下面以明場(chǎng)像為例。
  而透射像的襯度就是在入射電子束與樣品發(fā)生相互作用下,形成透射電子像,當電子束穿過(guò)樣品逸出下表面時(shí),電子束的強度發(fā)生了變化,從而投影到熒光屏上的強度是不均勻的,這種不均勻的強度就形成了透射像。
  通常以襯度來(lái)描述透射電子所成的像,襯度指樣品電子像上相鄰區域圖像的對比度強度差,通常情況下肉眼無(wú)法分辨<5%的襯度差別,分辨10%的襯度也難,可以用CCD相機等記錄電子化圖像,再進(jìn)行可增大襯度處理,讓肉眼眼能夠分辨的出。
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