掃描電子顯微鏡是一種多功能的儀器、具有很多*的性能、是用途廣泛的一種儀器.它可以進(jìn)行如下基本分析：

　　1、觀(guān)察納米材料：其具有很高的分辨率，可以觀(guān)察組成材料的顆?；蛭⒕С叽缭?.1-100nm范圍內，在保持表面潔凈的條件下加壓成型而得到的固體材料。

　　2、材料斷口的分析：其景深大，圖象富立體感，具有三維形態(tài)，能夠從斷口形貌呈現材料斷裂的本質(zhì)，在材料斷裂原因的分析、事故原因的分析以及工藝合理性的判定等方面是一個(gè)強有力的手段。

　　3、直接觀(guān)察大試樣的原始表面：它能夠直接觀(guān)察直徑100mm，高50mm，或更大尺寸的試樣，對試樣的形狀沒(méi)有任何限制，粗糙表面也能觀(guān)察，這便免除了制備樣品的麻煩，而且能真實(shí)觀(guān)察試樣本身物質(zhì)成分不同的襯度(背散射電子象)。

　　4、觀(guān)察厚試樣：其在觀(guān)察厚試樣時(shí)，能得到高的分辨率和*真實(shí)的形貌。

　　5、觀(guān)察試樣的各個(gè)區域的細節：試樣在樣品室中可動(dòng)的范圍非常大，可以在三度空間內有6個(gè)自由度運動(dòng)(即三度空間平移、三度空間旋轉)，這對觀(guān)察不規則形狀試樣的各個(gè)區域帶來(lái)極大的方便。

　　6、在大視場(chǎng)、低放大倍數下觀(guān)察樣品，用掃描電鏡觀(guān)察試樣的視場(chǎng)大：大視場(chǎng)、低倍數觀(guān)察樣品的形貌對有些領(lǐng)域是很必要的，如刑事偵察和考古。

　　7、進(jìn)行從高倍到低倍的連續觀(guān)察：掃描電鏡的放大倍數范圍很寬(從5到20萬(wàn)倍連續可調)，且一次聚焦好后即可從高倍到低倍、從低倍到高倍連續觀(guān)察，不用重新聚焦，這對進(jìn)行分析特別方便。

　　8、觀(guān)察生物試樣：由于電子照射面發(fā)生試樣的損傷和污染程度很小，這一點(diǎn)對觀(guān)察一些生物試樣特別重要。

　　9、進(jìn)行動(dòng)態(tài)觀(guān)察：如果在樣品室內裝有加熱、冷卻、彎曲、拉伸和離子刻蝕等附件，則可以觀(guān)察相變、斷烈等動(dòng)態(tài)的變化過(guò)程。

　　10、從試樣表面形貌獲得多方面資料：因為掃描電子象不是同時(shí)記錄的，它是分解為近百萬(wàn)個(gè)逐次依此記錄構成的。使得掃描電鏡除了觀(guān)察表面形貌外還能進(jìn)行成分和元素的分析，以及通過(guò)電子通道花樣進(jìn)行結晶學(xué)分析，選區尺寸可以從10μm到3μm。

　　現在掃描電鏡已廣泛用于材料科學(xué)(金屬材料、非金屬材料、納米材料)、冶金、生物學(xué)、醫學(xué)、半導體材料與器件、地質(zhì)勘探、病蟲(chóng)害的防治、災害(火災、失效分析)鑒定、刑事偵察、寶石鑒定、工業(yè)生產(chǎn)中的產(chǎn)品質(zhì)量鑒定及生產(chǎn)工藝控制等。